科学家用新方法研制薄膜压电微机电系统

发布时间:2018-04-24 所属专题:新材料

从烧烤架的火花点火器到医学超声成像所需的传感器,压电材料有着广泛应用。微米或者更小尺度的薄膜压电材料,为需要开展更小维度或者较低电压操作的新应用提供了可能性。

来自美国宾夕法尼亚州立大学的研究人员展示了一项新技术,即通过将锆钛酸铅(PZT)压电薄膜样本同灵活的聚合物基质相结合,研制了压电微机电系统(MEMS)。成果发表在美国物理联合会(American Institute of Physics)所属《应用物理杂志》上。

研究人员使拥有氧化锌释放层的硅衬底上生长出多晶PZT薄膜。他们还在衬底上添加了一薄层聚酰亚胺,并在随后利用醋酸腐蚀掉氧化锌,从而将拥有聚亚胺层的1微米厚PZT薄膜从硅衬底中释放出来。和在硬式基质上生长出来的薄膜相比,聚酰亚胺上的PZT薄膜拥有增强的材料属性,但同时保持着灵活性。

 图片3.jpg

编选自《中国科学报》2017年11月1日