超大型单晶金刚石半导体材料

发布时间:2019-04-19 所属专题:新材料

金刚石(单质碳)半导体具有很高的耐电压和电导率特性,是一种非常适用于能源工业领域的元件。

根据日本产业技术综合研究所2019320日发布的消息,以该机构为首的一个研究团队成功研制出了一种立方厘米级的超大型单晶金刚石半导体材料。

目前的金刚石半导体生产技术只能制作出较小的基板,详见附图右下。此次研究团队采用微波等离子化学气相沉积法(Chemical Vapor DepositionCVD),以碳蒸汽为原料,通过调整蒸气密度等条件,成功制成了边长为1厘米的超大型金刚石半导体基板材料。该材料浑然一体,没有任何缝隙,呈单晶状态。

该新成果可以在提高自身性能的同时有效降低金刚石半导体生产成本,具有较高的产业化前景。(日本产业技术综合研究所)

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扩展阅读:

https://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2019/pr20190320/pr20190320.html